Acest echipament este potrivit pentru pre-tratarea napolitanelor înainte de aplicarea adezivului. Sistemul constă dintr-o cameră, sistem de vid, sistem de încălzire, sistem de purjare cu azot, sistem de distribuire a lichidului și sistem de control. Prin mai multe cicluri de vid și încălzire cu azot fierbinte la 150 °C, echipamentul usucă și curăță eficient suprafața plachetei, prevenind oxidarea și difuzia impurităților. Sistemul de distribuire a lichidului poate aplica, de asemenea, un film protector HDMS pe suprafața plachetei, rezultând proprietăți excelente de aplicare a adezivului. În comparație cu acoperirea manuală HMDS, acest sistem oferă avantaje semnificative, cum ar fi repetabilitate bună, consum redus de substanțe chimice, respectarea mediului și siguranță pentru sănătatea umană. Poate fi folosit și pentru curățarea napolitanelor în alte procese. Sistemul de control folosește un PLC, iar interfața om-mașină folosește un ecran tactil, oferind fiabilitate ridicată, ușurință în operare și control intuitiv.
În procesele de fabricație a semiconductorilor (cip/circuit integrat), fotolitografia este un pas crucial în transferul modelului de circuit integrat. Calitatea acoperirii fotorezist afectează în mod direct calitatea fotolitografiei, făcând procesul de acoperire deosebit de important. Cele mai multe fotoreziste utilizate în fotolitografie sunt hidrofobe, în timp ce grupările hidroxil și moleculele de apă reziduală de pe suprafața plachetei de siliciu sunt hidrofile. Acest lucru duce la o aderență slabă între fotorezist și placă de siliciu, în special cu fotoreziste pozitive. În timpul dezvoltării, soluția de dezvoltator poate pătrunde în interfața dintre fotorezist și placheta de siliciu, provocând cu ușurință fenomene precum decojirea și plutirea fotorezistului, ducând la eșecul transferului modelului fotolitografic. În același timp, gravarea umedă este predispusă la gravarea laterală. După pretratarea cu un sistem de pretratare HMDS, un compus pe bază de siloxan este acoperit pe suprafața substratului. Suprafața plachetei se schimbă de la hidrofilă la hidrofobă, reducând unghiul de contact, scăzând cantitatea de fotorezist necesară și sporind aderența la fotorezist. Acest lucru inhibă gravarea laterală și deplasarea modelului în timpul procesului de dezvoltare, îmbunătățește aderența fotorezistentului și îmbunătățește rezistența la coroziune a materialului în medii dure, îmbunătățind astfel semnificativ calitatea produsului și reducând rata defectelor.
Obiectivul procesului:
Echipamentul funcționează complet automat utilizând controlul PLC. Procesul implică coacerea la temperatură înaltă a substratului pentru a îndepărta umiditatea de suprafață, combinată cu tehnologia de uscare în vid și de protecție a azotului pentru a îndepărta umezeala și contaminanții de pe suprafața plachetei, prevenind oxidarea și difuzia impurităților și asigurând curățenia înainte de acoperire. Se introduce apoi gazul HMDS (hexametildisilazan C6H19NSi2). La temperaturi ridicate, suprafața substratului și HMDS reacționează complet, formând un compus compus în principal din siloxan. Aceasta schimbă suprafața substratului de la hidrofilă la hidrofobă, permițând grupării hidrofobe să se lege bine de fotorezist, acționând ca un agent de cuplare.
Fluxul procesului:
În primul rând, pompa de vid este pornită pentru a începe aspirarea. Odată ce nivelul de vid din cameră atinge valoarea setată (această valoare poate fi setată prin modificarea valorii P2 de pe vacuometru, vezi manualul vacuometrului), se introduce azot. După atingerea nivelului de vid setat (această valoare poate fi setată prin modificarea valorii P1 de pe vacuometru), procesul de aspirare și introducere a azotului se repetă. După atingerea numărului stabilit de introduceri de azot, reîncepe aspirarea, urmată de introducerea soluției chimice. După timpul stabilit, introducerea soluției chimice se oprește și începe faza de menținere. După timpul de menținere setat, aspirarea și introducerea azotului încep din nou, pentru numărul de cicluri setat. Odată ce sistemul completează automat procesul, se dă o alarmă sonoră și vizuală, care indică faptul că napolitanele sunt gata pentru îndepărtare.
① Materialul carcasei exterioare: Fabricat din tablă de oțel laminată la rece de înaltă calitate selectată (Q235), formată cu precizie prin prelucrare CNC. Suprafața este tratată cu fosfatare și acoperire cu pulbere antistatică, creând o carcasă robustă. Este antistatic, rezistent la coroziune și rezistent la zgârieturi, asigurând o calitate de durată;
② Camera interioară: Camera interioară este realizată din oțel inoxidabil 304 periat, cu certificare de material (raport material disponibil), rezistentă la coroziune și ușor de curățat;
③ Panou de control: controler cu ecran tactil color de ultimă generație, care afișează parametrii cheie precum temperatura și timpul în timp real. Indicațiile inteligente privind erorile și alarmele oferă un control clar și intuitiv;
④ Fereastra de observare: fereastră de observare panoramică cu unghi mare, folosind sticlă călită dublu strat de 8 mm exterioară și 20 mm interioară, rezistentă la temperaturi ridicate și foarte transparentă, afișând în mod clar întregul interior al camerei în timp real, făcând starea experimentală clară dintr-o privire;
⑤ Rafturi: Rafturi standard cromate din plasă rezistentă la coroziune, disponibile și în diverse materiale și structuri pentru adaptare flexibilă la diferite nevoi experimentale;
⑥ Strat de izolație: spațiul dintre carcasa exterioară și camera de lucru este umplut cu bumbac din fibră ceramică de înaltă puritate (Al₂O₃) de 80 mm grosime, oferind o izolare termică superioară, reducând foarte mult pierderile de căldură, asigurând o stabilitate constantă a temperaturii și o eficiență energetică ridicată;
⑦ Banda de etanșare: Echipată cu un inel de etanșare din cauciuc siliconic turnat la comandă, cu o structură de linie convexă circumferențială și o tehnologie unică de etanșare activă de rupere a vidului. Formează instantaneu un canal în timpul eliberării presiunii, îmbunătățind considerabil eficiența de rupere a vidului și asigurând că ușa poate fi deschisă cu ușurință după eliberarea presiunii;
⑧ Tub de încălzire: tub de încălzire din oțel inoxidabil SUS304 cu durată de viață ultra lungă, cu structură opțională de încălzire de raft/înconjurător, adaptat cu precizie procesului, asigurând o încălzire uniformă și eficientă;
⑨ Supape de intrare/ieșire: supape de vid din cupru, ușor și sensibile de operat și etanșare fiabilă;
① Acest sistem execută automat cicluri programate de temperatură constantă, vid înalt și purjare cu gaz inert conform parametrilor prestabiliți; controlează cu precizie momentul injectării lichidului și menținerea presiunii; și oferă semnale audio și vizuale la finalizarea procesului.
② Ecran tactil color: Echipat cu un ecran color standard și control tactil, afișând parametri precum temperatura setată, temperatura de funcționare, timpul de temperatură constantă și informațiile de eroare pe un singur ecran; reglarea dinamică a parametrilor PID, cu funcții precum viteza de răspuns și suprimarea depășirii temperaturii;
③ Utilizează un controler de temperatură P.I.D de microcomputer cu protecție împotriva deviației la supra-temperatură, protecție la supra-viteză și afișaj cu ecran tactil și include o funcție de sincronizare;
④ Mai multe moduri de sincronizare: 1. Unitățile de temporizare pot fi comutate liber între minute și ore; 2. Două moduri de sincronizare: sincronizare de la pornire și cronometrare după atingerea temperaturii constante;
⑤ Echipat cu un senzor de vid din silicon de înaltă precizie, care este stabil și fiabil și detectează gradul de vid din interiorul camerei în timp real, oferind suport de date precise și garanție pentru procese precise;
⑥ Cip de microcomputer de scanare a mediului cu alarmă de sunet și lumină îmbunătățit cu capabilități stabile de procesare a datelor;
⑦ Caracteristicile includ alarma de supratemperatura, oprirea incalzirii la supratemperatura, oprirea temporizata, recuperarea la pornire, memoria parametrilor, corectarea temperaturii si auto-ajustarea;
⑧ Funcția de recuperare a căderii de curent: Dacă sursa de alimentare externă este pierdută brusc și apoi restabilită, echipamentul poate relua automat funcționarea conform programului setat inițial;
⑨ Reglare automată: Când precizia controlului temperaturii este inexactă din cauza modificărilor temperaturii ambiante, se poate efectua autoajustarea pentru a face temperatura mai precisă;
⑩ Mai multe moduri pot fi comutate liber: comutare între modul valoare fixă/modul de sincronizare.
| Model | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS150 |
| Sistem de control | Calculator industrial PLC | ||
| Interacțiunea om-calculator | Controler cu ecran tactil color de 7 inchi | ||
| Senzor de temperatură | PT100 Platinum RTD | ||
| Interval de temperatură | RT 10~200℃ | ||
| Rezoluția temperaturii | 0,1℃ | ||
| Fluctuația temperaturii | ≤±0,5℃ | ||
| Interval temporizator | 0~9999 min | ||
| Grupul de programe | 100 de grupuri / 100 de segmente per grup | ||
| Securitatea datelor | Nivelul 3 control acces, pistă de audit | ||
| Securitate inteligentă | Autotest la pornire, alarmă de supratemperatură și întrerupere a încălzirii, corectarea abaterii senzorului de temperatură, blocarea ecranului. | ||
| Direcția de sincronizare | Numărătoare în sus/numărătoare inversă | ||
| Unitate de cronometrare | Minut/Oră | ||
| Vacuometru | Vacuometru rezistiv din silicon | ||
| Vacuum suprem | ≤100Pa | ||
| Viteza de pompare | 2L/S | ||
| Tensiune de alimentare | AC220V/50Hz | 220V/18A | 220V/18A |
| Putere nominală | 2KW | 3KW | 3,2 kW |
| Dimensiuni interioare | 410x370x345mm | 450x450x450mm | 500x500x600mm |
| Dimensiuni exterioare | 610x525x1285mm | 660x590x1470mm | 670x650x1630mm |
| Volumul | 52L | 91L | 150L |
| Rafturi standard | 2 | 2 | 3 |
| Greutate brută/netă | 152/138KG | 185/165KG | 235/205 KG |
| Nu. | Nume | Parametrii | Fotografie de referință |
| 1 | Pompă de vid Scroll | ① Pompă fără ulei | |
| 2 | Filtru de ceață de ulei | ① Filtrează ceața de ulei de la pompa de vid |  |
Produsele furnizate de întreprinderi celebre au încredere profundă de către utilizatori.
Shanghai Dengsheng Instrument Manufacturing Co., Ltd. , este o întreprindere de înaltă tehnologie care integrează cercetare și dezvoltare, producție, vânzări și servicii. Suntem specializați în fabricarea de echipamente de laborator de ultimă generație, inclusiv cuptoare, incubatoare, cuptoare industriale și camere de testare a mediului.
As and We ne lăudăm cu o unitate de producție modernă de 8.000 de metri pătrați, o echipă de cercetare și dezvoltare dedicată, 23 de brevete naționale și certificarea sistemului de management al calității ISO-9001. Soluțiile noastre sunt utilizate pe scară largă în domenii de ultimă oră, cum ar fi aerospațial, semiconductori, biomedicină, auto și materiale noi. Am stabilit parteneriate aprofundate cu universități de top și lideri din industrie, aprovizionam produsele noastre sunt exportate în multe țări și regiuni din întreaga lume.
Aderând la principiile „Integritate, Inovație și Câștig-câștig”, ne angajăm să devenim partenerul dumneavoastră de încredere, cu o calitate de încredere și servicii dedicate.
Salutăm întrebările și cooperarea atât din partea clienților noi, cât și a celor existenți, oferind soluții de echipamente profesionale.
2026/03/09
2026/03/02
2026/02/24
Înapoi sus
